無油干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其他作業介質，并且泵的極限壓力與油封式真空泵平等量級或許接近的機械真空泵。盡管可用真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來避免返流，但不能完全解決問題，并且使體系顯得雜亂。而運用適當型式的干式機械真空泵，則能夠到達抱負的運用作用。

現在，真空職業運用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充任泵的作業介質，在泵內起冷卻、密封、光滑等多種作用。跟著科學技術的開展以及真空應用領域的擴展，原有的機械真空泵及其構成的抽氣體系呈現了兩個急需解決問題：一是泵的作業介質返流污染被抽容器，而這種返流在很多情況下影響商品的質量、數量，增加設備的保護本錢。其次，因為某些技術過程中的反響物質使肯富來真空泵內的介質嚴峻變質，使泵不能正常作業。

真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

1)除半導體技術外的某些發生微粒的技術，不期望微粒混入泵油中，而期望微粒排出泵外，則用必定型式的干式機械真空泵能夠滿足要求;

2)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、枯燥、脫泡、包裝等，要避免有機溶劑形成污染，適合用干式真空泵;

3)用做通常無油清洗真空體系的前級泵，以避免油污染；

4)低壓化學氣相堆積中的多晶硅制備技術中;

5)半導體刻蝕技術。在這些生產技術中通常用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

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