螺桿式真空泵的主要抽氣部件是安裝在8字形泵體定子中的一對螺桿轉子，由一對同步齒輪帶動做相反方向的同步旋轉。工作過程中，主動轉子的齒頂部分深入到從動轉子的齒槽之中，將從動轉子齒槽的空余部分隔離成為一個個獨立的、與前后不相通的儲氣空間，同理，從動轉子的齒頂也將主動轉子的齒槽隔離成為同樣大小的儲氣空間。每一個螺旋導程內的主、從轉子的儲氣空間，共同構成了螺桿真空泵的一級儲氣容積。當兩只螺桿轉子做同步逆向旋轉時，各級齒槽儲氣容積則沿螺桿轉子軸向由吸氣端向排氣端移動，并將由吸氣口吸入的、存在于齒槽儲氣容積之中的被抽氣體一同傳送，直至由排氣口排出泵外。如圖所示。