蒸汽噴射真空泵是利用流體流動時的靜壓能與動能相互轉換的氣體動力學原理來形成真空。具有一定壓力的水蒸汽通過拉瓦爾噴嘴喉徑時達到聲速, 到噴嘴的擴散部時, 靜壓能全部轉化為動能, 達到超聲速, 同時噴嘴出口處形成真空, 被抽氣體在壓差的作用下, 被抽入吸入室, 和以超聲速的蒸汽一邊混合一邊進入文丘里管, 然后以亞聲速從文丘里的擴散管排出, 同時混合的氣體速度逐漸降低, 壓力隨之升高, 而后從排出口排出。如果將幾個噴射泵串聯起來使用, 泵與泵中間加入冷凝器使蒸汽冷凝, 便可得到更高的真空度。整臺蒸汽噴射真空泵由若干級泵體與冷凝器兩大部分組成。各級泵體均由噴嘴、入室及擴壓器組成, 噴嘴可以是單只, 也可以是多只, 噴嘴一般采用不銹鋼材料, 吸入室和擴壓器等其它部件可采用不銹鋼、鑄鐵及碳鋼等材料。